濾能擁有AMC微污染控制的領先技術, 為半導體及面板產業客戶提供最佳AMC 防治控制方案,透過產品模組化的組合式設計,達成3R的目標

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濾能的「機台濾網」,具有「模組化」特色,可依客戶需求單層替換及客製化。同時,其「抽屜式橫拉」,使天花板上方空間不足之廠區方便替換。

機台濾網

Machine Filter

-產品外觀-

The machine filter is the prevention and control solution for AMC.

-產品特色-

1. 可客製化 2. 不鏽鋼材質 3.較傳統型重量最大減少20%,方便安裝替換 4.低壓損設計,降低33%壓損,有效降低能耗
安裝位置_Tool

-安裝位置-

安裝位置 : Tool

三合一機台濾網

三合一機台濾網​

-產品規格-

濾材 改質活性碳/離子交換樹脂/活性碳
尺寸L x W x H  (mm) 800 x 485 x 165  (整組)
建議風量 (CMH) 500 – 1000
壓損 (Pa) 40±10% / 60±10%
初始去除效率 (%) SO2>90 NH3>90 VOC>90
重量 (Kg) 10.5  (整組)
安裝位置 Tool
可去除標的 MA  / MB / MC
框體材料( frame) Galvanized iron / SUS
釋氣(Outgassing) No Outgassing

除酸機台濾網

除酸機台濾網

-產品規格-

濾材 改質活性碳
尺寸L x W x H  (mm) 800 x 485 x 150  (整組)
建議風量 (CMH) 500 – 1000
壓損 (Pa) 35±10%
初始去除效率 (%) SO2>90
重量 (Kg) 8
安裝位置  Tool
可去除標的 MA
框體材料( frame) Galvanized iron / SUS
釋氣(Outgassing) No Outgassing

除鹼機台濾網

除鹼機台濾網

-產品規格-

濾材 離子交換樹脂
尺寸L x W x H  (mm) 800 x 485 x 125
建議風量 (CMH) 500 – 1000
壓損 (Pa) 15±10% /  35±10%
初始去除效率 (%) NH3>90
重量 (Kg) 4
安裝位置 Tool
可去除標的 MB
框體材料( frame) Galvanized iron / SUS
釋氣(Outgassing) No Outgassing

-常見Q&A-

Q1 : 傳統型濾網與模組化濾網的比較

傳統三合一濾網

V.S.

環保型濾網

濾網接合使用大量PU膠

濾網特性

PU free,可節省3~5%成本,No Outgassing
更換濾材需取下整組濾網,耗時且易發生意外 獨特模組化設計,可更換單層濾材,輕量且安全性佳
外框無法重複使用 模組化外框可重複使用,更換簡易
框架及濾材無法多次利用,增加支出成本

購買成本

多次重複利用,成本可有效節省>40%
A.整組濾網丟棄,產生巨量廢棄物 B.大量廢棄物堆置及廢棄物處理費用

廢棄物處理

A.濾材外框可重複使用,廢棄物減量>60% B.無大量廢棄物堆置及後續處理費用
備品需購買整組濾網

備品存放

備品僅需購買濾材,外框多次使用至耗損才需補充

Q2 : 濾網的平均壽命? 
A2 : 依據廠區濃度會提供方案

Q3 : 提供哪些服務?
A3 : 濾能提供360°服務,從現場勘查檢測﹑樣品分析﹑方案研擬﹑產品製作﹑產品銷售到顧客意見諮詢等等。

Q4 : 擁有全台唯一獲得TAF認證實驗室,可以分析什麼項目?
A4 :
● AMC檢測分析技術 :
擁有專業的空氣濾網分析實驗室團隊,針對無塵室環境採樣分析、濾網效能、飽和容量分析等進行測試,可測試項目如下:分子酸(MA)、分子鹼(MB)、凝結物(MC)。
● AMC濃度控制 :
依據客戶提供資訊、濾能實驗室團隊實地採樣分析結果,可提供一站式服務,協助客戶解決AMC各項問題。
● 材質釋氣分析 :
因應精密製程需要良好的環境控制,存在材料中的不純物也同樣地影響成品安定性與應用可靠性。材料不純物總釋出量規範訂定尤為嚴格。畢竟若汙染下游客戶應用端的製造設備而造成不可逆的損害,濾能可提供關於AMC相關項目針對各種材料釋氣分析。
● AMC解決方案建議 :
依據客戶提供資訊、濾能實驗室團隊實地採樣分析結果,可提供一站式服務,協助客戶解決AMC各項問題。

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