AMC氣體性分子污染物防治面面觀

A Comprehensive View On The Prevention And Control Of AMC Gaseous Molecular Pollutants

AMC常稱「氣態分子汙染物」，邀您一起掌握防治AMC的知識點。本文將從「分類、常見來源、為何企業如此重視、AMC可能造成的潛在影響、容易被AMC影響的產業以及AMC防治解決方案」此六大構面，為您揭露防治AMC面面觀。歡迎與我們聯繫，了解AMC防治解決方案的最佳配套。

AMC氣體性分子污染物分類

圖片來源：SGS無塵室空降污染分子檢測服務

根據半導體定義AMC大致可以分為四大項目：MA（酸蒸氣）、MB（鹼蒸氣）、MC（凝結物質）及MD（摻雜物質），可能來自於無塵室外的汽車廢氣、大氣臭氧、周遭工廠排放……等外部環境，或是潔淨室內的化學溶劑揮發、蝕刻酸氣…等內部製程、材料，由於來源非常廣泛，污染物項目多元，因此如何有效控制AMC逐漸成為半導體業者的一大難題。

若廣義解釋，則AMC的分類可以包括四種類型，這些AMC類型在高精密行業中有重要影響，為確保產品品質，必須制定專門的過濾和控制策略：

1.有機AMC

主要包含揮發性有機化合物（VOCs），如甲苯、苯、丙酮等。這些物質常見於工業溶劑、塗料和清潔劑中。
案例：在半導體製造過程中，塗布光刻膠時揮發的有機溶劑會在空氣中形成AMC，可能導致晶片表面形成缺陷。因此，廠商通常會在光刻區安裝特殊的化學篩檢程式以吸附VOCs。

2. 無機AMC

包括酸性氣體（如硫酸霧、氫氯酸）、鹼性氣體（如氨氣）、氧化劑（如臭氧）。這些氣體常來源於工業排放或潔淨室清潔劑的使用。
案例：太陽能電池生產廠中，氨氣可能從化學工藝釋放出來。如果未及時處理，氨氣會與電池表面反應，降低產品效率和穩定性。

3. 金屬AMC

如汞、鉛等金屬蒸汽，常見於某些高溫操作或設備磨損過程中釋放的污染物。
案例：LCD面板生產中，某些金屬雜質可能附著在玻璃基板表面，影響顯示效果。這通常通過嚴格控制設備材料及表面處理技術來減少金屬污染。

4. 可凝結氣體

在溫度較低的表面冷凝成薄膜的氣體化合物，常見於工業溶劑或機油蒸發。
案例：在航空航太行業的光學鏡片製造中，冷凝的溶劑薄膜會嚴重影響鏡片的透光性和清晰度。這類污染需要通過對生產環境的濕度和溫度嚴格控制來解決。

AMC氣體性分子污染物的常見來源

氣體性分子污染物（AMC）的常見來源主要可歸納為以下幾類，結合實際案例可更好地說明其影響及如下的應對方法。另外，AMC的來源多種多樣，針對不同來源需採取專門的過濾、通風和監測手段，以保障生產安全和環境品質。

1.工業排放

工廠在生產過程中排放的廢氣是AMC的主要來源，例如二氧化硫（SO₂）、氮氧化物（NOₓ）和揮發性有機化合物（VOCs）。案例：半導體製造工廠中，化學蝕刻和清洗過程中產生的酸性氣體（如氯化氫）容易與潔淨室內的設備發生反應，導致腐蝕損壞。為此，這些工廠會安裝酸堿氣體過濾裝置並定期更換濾材。

2.汽車排放

城市中的機動車尾氣含有大量污染物，例如一氧化碳（CO）、VOCs以及顆粒物（PM2.5）。案例：在高交通密集區域，AMC對臨近建築物的空調系統造成污染，進而影響室內空氣品質。現代辦公樓多通過使用高效空氣過濾系統減少室外污染物進入室內。

3.潔淨室操作和設備維護

潔淨室內，設備使用的潤滑劑或維護化學品會釋放微量氣體污染物。案例：在奈米晶圓廠中，設備密封材料老化會釋放AMC（如有機矽化合物），這些污染物可能沉積在晶圓表面，影響電路的微觀性能。工廠通過定期監控室內AMC濃度和更換設備密封材料來減少污染。

4.環境臭氧

高濃度臭氧是工業區域的常見空氣污染物，可能與揮發性有機物反應生成次生污染。案例：印刷行業中使用的溶劑和臭氧接觸後，會生成新污染物，對工人健康和生產設備造成隱患。這種情況下，通過室內臭氧過濾技術可以顯著降低風險。

為什麼企業如此重視AMC氣體性分子污染物汙染物？

企業重視空氣分子污染（AMC）主要是因為其對產品品質、設備壽命和生產效率的巨大影響。AMC污染物，如有機氣體、酸性氣體等，可以對敏感的生產環境和設備造成腐蝕或沉積，導致產品品質問題或設備故障。因此，企業需要採取有效的控制措施，以確保生產的高效性和安全性。AMC污染物的控制和監測是確保高科技製造和高品質產品的基礎，特別是在半導體、電子和製藥行業，企業為減少這些污染的影響，採用了多種創新技術和解決方案。

1.半導體行業

在半導體製造中，空氣分子污染物對晶圓和設備的影響至關重要。氟化物、硫化物等氣體污染物可以在晶圓表面形成薄膜，影響晶片的性能。為了避免這些污染物的影響，半導體製造商會使用高效的空氣過濾系統和AMC監測技術來即時跟蹤空氣品質，確保潔淨室的環境符合嚴格的生產標準。

案例1：某半導體廠在潔淨室中安裝了AMC監測系統，該系統通過自動化監測，能夠即時顯示污染物濃度並指導過濾系統的維護，減少了設備故障和生產損失。

案例2：氣體性分子污染物（AMC；Airborne Molecular Contamination）分子大小約0.3-1.5nm，在製程持續微縮的狀況，AMC的影響會日漸增加，以5nm製程來說，僅需要5~17個氣體分子即能佔滿線寬、影響良率，況且目前電晶體GAA架構較為脆弱，對於AMC更為敏感。即使晶圓暴露在低濃度4ppb的AMC，僅需要40分鐘就會對於線路造成很大的傷害，況且晶片完整生產大約需要6~8周。隨半導體製程持續推進，半導體製程持續微縮，AMC逐漸重要，相關設備要逐漸增加，一條7nm製程產線約需要10台AMC設備、5nm約需要15台、3nm約需要18台，由此可知AMC的重要性。

2.電子產品製造

電子產品生產中的空氣污染物同樣會影響產品的品質和良率。例如，在LED製造中，空氣中的氣態污染物可能影響晶片的穩定性，導致色差或壽命降低。為此，許多公司都投入資金引入先進的空氣淨化和監測技術，確保生產環境的潔淨度。案例：某LED製造公司在生產線中使用了高性能的空氣過濾解決方案，成功降低了AMC污染物的濃度，確保了產品的一致性和高良率。

3.醫藥行業

在製藥行業，空氣污染物的存在可能導致藥品生產中的交叉污染，進而影響藥品的品質和安全性。尤其是在疫苗和生物製品的生產過程中，空氣中的化學污染物會導致產品不符合品質標準，因此，嚴格控制AMC的濃度是企業運營的關鍵。案例：某製藥公司通過安裝專用的化學篩檢程式，顯著減少了空氣中有害物質的濃度，從而提高了藥品生產的穩定性和合規性。

AMC氣體性分子污染物可能造成的潛在影響是?

氣體性分子污染物（AMC）對環境和工業生產的潛在影響是深遠的，尤其在高精度製造業中尤為顯著。空氣中的化學污染物，如氯化氫、氟化氫、硫化物等，會對設備造成腐蝕，影響產品品質，甚至導致生產停工和昂貴的維修費用。因此，空氣分子污染對工業生產和環境的潛在影響不容忽視。通過採取先進的監測和過濾技術，企業可以減少AMC污染物對設備、生產過程和產品品質的負面影響，確保生產的穩定性和品質。以下是幾個實際案例和應用場景，展示了AMC污染物的潛在影響：

1.化學空氣過濾

通過使用專門的化學篩檢程式去除空氣中的有害分子，如有機氣體、酸性氣體和揮發性有機化合物（VOCs）。這種篩檢程式能夠捕獲和分解氣態污染物，通常採用活性炭、氧化鋁或改性材料。案例：在半導體生產中，為了防止氟化物和其他腐蝕性化學物質影響設備和晶圓表面，製造商會在潔淨室內安裝高效的化學空氣篩檢程式，確保空氣中的AMC濃度維持在安全水準。濾能的AMC防治解決方案，即是針對各種半導體生產中所產生的AMC，進行有效過濾的完整解決方案。

2.高性能空氣過濾解決方案

通過優化篩檢程式配置，減少能源消耗同時提高過濾效率。這種解決方案在許多高科技製造業中得到了廣泛應用，尤其是需要極其潔淨空氣的生產環境。案例1：濾能提供的高性能空氣過濾系統，被應用於大型資料中心和高端電子製造廠中。這些系統不僅提高了空氣品質，還顯著降低了能耗和設備維護成本。

3.空氣淨化系統與監測設備

使用精密的空氣品質監測設備結合先進的淨化系統，可以即時監測並去除空氣中的AMC污染物。案例：在一些製藥公司，特別是在藥品生產過程中，空氣淨化系統與自動化監測設備配合使用，能夠即時檢測污染物的濃度，並根據需要調整淨化措施，從而確保空氣品質符合嚴格的行業標準。

容易被 AMC氣體性分子污染物影響的產業是？

氣體性分子污染物（AMC）對多個行業造成潛在的負面影響，尤其是在一些高精度的領域，如半導體製造、製藥行業和潔淨室環境中，污染物的微小存在就可能導致嚴重的生產問題。這些行業的共同點是，它們都依賴於嚴格控制空氣品質，以保證生產的高效性和產品的高品質。通過使用專門的空氣淨化和監測技術，這些行業能夠有效減少AMC對其生產過程的負面影響。以下是一些實際案例和應用場景，展示了這些行業如何受到空氣分子污染的影響：