濾能擁有AMC微污染控制的領先技術, 為半導體及面板產業客戶提供最佳AMC 防治控制方案,透過產品模組化的組合式設計,達成3R的目標

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模組化抽取式化學濾網

濾能獨家的模組化設計概念,運用可多次利用的金屬框體搭配多合一的濾網形式,抽取式及堆疊式化學濾網更換簡易!經濟又安全!適用於FFU上方及機台端設備。

產品規格

濾材

活性碳/離子交換樹脂

尺寸 L×W×H(mm)

800x485x63

建議風量 (CMH)

500-1000

壓損 (Pa)

50±15% @1000CMH

初始移除效率 (%)

NH3>90 / SO2>90 / VOC>90

潔淨度等級

ISO4

建議溫度 (℃)

10-40

建議濕度 (%)

30-60

重量 (Kg)

17